主な用途 枚叶式洗浄装置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変动を受ける机器及びプロセス 液晶のエア・ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース内の排気圧力コントロール

主な用途 枚叶式洗浄装置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変动を受ける机器及びプロセス 液晶のエア・ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース内の排気圧力コントロール

主な用途 枚叶式洗浄装置のチャンバー圧力制御 クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 排気ラインの圧力変动を受ける机器及びプロセス 液晶のエア・ナイフ槽の排気圧力コントロール クリーンブース内の排気圧力コントロール

１．加湿ガスの広范囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自动的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の设定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)

１．加湿ガスの広范囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自动的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の设定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)

１．加湿ガスの広范囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自动的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の设定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)

１．加湿ガスの広范囲な圧力制御が可能 ２．シートリーク量が小さいので、小流量から使用可能 ３．圧力コントローラ及び圧力センサを用いて自动的に排気圧力を制御 ４．排気圧力の设定値を外部制御 可能(RS485、アナログ)

AP250とAP500は半导体制造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に适した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部（AP100Nと同等品）とドーム式レギュレータ部から构成されています。　さらに外部には圧力センサを取り付け、そのセンサからの信号を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの内部圧力を调整し、外郭圧力が任意の设

AP250とAP500は半导体制造プロセス等で使用されるクリーンガスの圧力制御に适した大流量タイプのコントローラで、空気圧制御部（AP100Nと同等品）とドーム式レギュレータ部から构成されています。　さらに外部には圧力センサを取り付け、そのセンサからの信号を空気圧制御部に入力し、空気圧制御郡のバルブをON/OFF制御することによって、レギュレータ部にあるドームの内部圧力を调整し、外郭圧力が任意の设定圧力値と一致するように自动制御します。 また、流量センサを外部に取付けることにより、流量コントローラとして使用することも可能です。　*大制御流量はAP250が5001/分、AP500が2000L/分で、*大制御圧力は両タイプとも600kPa程度です。　圧力継手はAP250が1/2"VCR、AP500は3/4"SWAG相当品または3／4"VCR相当品に対応しています。真空中での使用なら相当品导体用

1.小型で大流量の圧力制御が可能　　AP-200　150SLM 2.ガス流量変动により圧力変化无 3.応答速度1秒以内の高速制御可能 4.圧力の设定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**设计 6.工场オプションにて停电时圧力保持も可能

1.小型で大流量の圧力制御が可能　　AP-200　150SLM 2.ガス流量変动により圧力変化无 3.応答速度1秒以内の高速制御可能 4.圧力の设定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**设计 6.工场オプションにて停电时圧力保持も可能

1.小型で大流量の圧力制御が可能　　AP-200　150SLM 2.ガス流量変动により圧力変化无 3.応答速度1秒以内の高速制御可能 4.圧力の设定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**设计 6.工场オプションにて停电时圧力保持も可能

1.小型で大流量の圧力制御が可能　　AP-200　150SLM 2.ガス流量変动により圧力変化无 3.応答速度1秒以内の高速制御可能 4.圧力の设定値を外部制御 可能(RS485,アナログ) 5.NCタイプの**设计 6.工场オプションにて停电时圧力保持も可能

AP160Mは半导体制造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの开度を自动制御することによって、配管内の圧力を自动调整するコントローラです。圧力センサを内蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありません。*大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2种接があります。AP160Mモデルは比例ソ レノイドバルブをパルス幅変调により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを无くすことができるので、1秒程度で设 定圧力に达します。圧力ロ継手は1／4"VCR相当品で、接ガス部や圧力センサは全てメタル制になっており、半导体プロセスガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。

AP150Nは空気や窒素等の不活性ガスを制御対象として、配管内の圧力や流量を制御するのに适したコントローラです。 圧力センサを内蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありませんが、别のセンサを取付け、利用することも可能です。 *大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2种类があります。AP150Nモデルは比例ソレノイドバルブをパルス幅変调により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを无くすことができるので、1秒程度で设定圧力に达します。

P100N 搭载世界*小压力设定单元 气缸等气压由1台控制 一般用压力控制器 微小流量型AP100N 是一款控制器，适用于控制空气和氮气等惰性气体的内部压力，如气缸和相对较小的储罐，通过控制两个开/关阀的打开时间来调节压力。 内置压力传感器，无需向外部添加传感器，但也可以安装和使用其他压力传感器。 *大控制压力约为 650kPa，具体取决于连接的气缸等内部容量，但大约在 0.5 秒内达到设定压力。