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产品名称：UV照射装置 ORC欧阿希 VUM-3500
产品厂商：ORC欧阿希
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简单介绍：

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详情介绍：

低圧UVランプから放射する254nmのUVを利用し、プラズマ処理や、热アニール処理工程などで、蓄积された电荷を効率よく除去し、素子の特性を改善します。　特性の改善により制品歩留まりの向上、信頼性の向上が期待できます。

◆ 特　徴

1．	フラッシュメモリやその他の不挥発性メモリ、イメージセンサなどのチャージ除去やデータ消去に有効です。
2．	半导体デバイスのトランジスタ特性の改善と安定化にも有効です。
3．	チャージイレースに*适なUV波长を、効率よく照射します。
4．	幅広い角度からUVを照射することで、効率よくチャージを除去します。
5．	対象ウェーハサイズは、１２インチ（标准）、１１インチ（オプション）となります。
6．	処理中のウェーハ温度は100℃程度です。低温で処理可能なため、ダメージを与えません。
7．	装置は、装置本体、ランプ电源ユニット、制御ユニットから构成されています。

◆ 仕　様

型式		VUM-3500	VUS-3300
処理ウエーハサイズ	12インチ	○	○
処理ウエーハサイズ	8インチ	OP	OP
同时処理枚数		15枚	3枚
スループット　※1		约48WPH	约24WPH
カセット形态		FOUP	FOUP
ウェーハ搬送		自动搬送	自动搬送
ランプ灯数		20本	4本
初期照度		45mW/cm²	45mW/cm²
照度测定		自动测定	自动测定
装置サイズ		1140（W）× 2100（D）× 1850（H）	1360（W）× 2210（D）× 2700（(H）

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