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产品名称：Kosaka小板研究所微细形状测定机ET4000
产品厂商：KOSAKA小板研究所
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Kosaka小板研究所微细形状测定机ET4000

微细形状测定机

ET4000系列

· 高精度．安定性．机能性**适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。

· 是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。

· ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。

· ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。

· ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。

· ET4300一适合12"样品测量。

特长

*大试片尺寸	210×210mm~300×400mm
重现性	1σ 0.5nm以内
测定范围	Z:100µm X:100～305mm (Y移动量:150~400mm)
分解能	Z:0.1nm X:0.1µm
测定力	0.5µN~500µN (0.05mg-50mg)

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微细形状测定机

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