产品名称：OPTM-A3_OPTM显微分光膜厚仪_Otsuka大塚

显微分光膜厚仪OPTM series

特点

头部集成了薄膜厚度测量所需功能
通过显微光谱法测量高精度**反射率（多层膜厚度，光学常数）
1点1秒高速测量
显微分光下广范围的光学系统（紫外至近红外）
区域传感器的**机制
易于分析向导，初学者也能够进行光学常数分析
独立测量头对应各种inline客制化需求
支持各种自定义

使用显微光谱法在微小区域内通过**反射率进行测量，可进行高精度膜厚度/光学常数分析。可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度，例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上，能达到1秒/点的高速测量，并且搭载了即使是初次使用的用户，也可容易出分析光学常数的软件

OPTM-A1	OPTM-A2	OPTM-A3
波长范围	230 ~ 800 nm	360 ~ 1100 nm	900 ~ 1600 nm
膜厚范围	1nm ~ 35μm	7nm ~ 49μm	16nm ~ 92μm
测定时间	1秒 / 1点
光斑大小	10μm (*小约5μm)
感光元件	CCD		InGaAs
光源规格	氘灯+卤素灯		卤素灯
电源规格	AC100V±10V 750VA（自动样品台规格）
尺寸	555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分)
重量	约 55kg（自动样品台规格之主体部分）

*目前苏州地区有样机可供测试