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产品详情
简单介绍:
中流量から大流量まで対応
素子の选定により50NLMから500NLMまで対応可能
全流方式の流量计测・制御であり、流入するガスの一时的な水分混入や凝缩に强い
高速実流量応答制御実现
ガス系の温度・圧力情报も出力できるため、ガス供给系の诊断に*适
详情介绍:
仕様
対象ガス N2, Air, H2, CH4, Ar, O2他
流量范囲 50NLM~500NLM (0℃,一気圧换算)
制御范囲 5-100% FS
精度 2% FS
缲り返し性 ±0.2% FS
応答速度 2秒以内 (フルスケール设定値の±2%到达までの时间)
制御范囲 2-100%
使用温度范囲 0-50℃(15-35℃:精度保证)、结露なきこと
耐圧 0.99MPa
外部シール 1×10-7Pam3/sec(He)以下
入力信号 0-5VDC、RS485 (4-20mA 工场オプション)
出力信号 0-5VDC、RS485 (4-20mA 工场オプション)
电源电圧 DC24V±10% 200mA以下
接ガス材质 SUS316、バイトン 他 (SUS316L対応可)
电源コネクター D-Sub 15ピン
バルブ駆动用空圧 0.4-0.5MPaG
寸法 面间寸法174mm 高さ128mm(コネクター除く) 流量により异なります
継手 3/8 又は1/2“スウェジロック相当継手 (VCR相当継手対応可能)
50NLM以下の场合にはAFC-150を准备しております。
500NLM以上の场合はAFC-2500を准备しております
対象ガス N2, Air, H2, CH4, Ar, O2他
流量范囲 50NLM~500NLM (0℃,一気圧换算)
制御范囲 5-100% FS
精度 2% FS
缲り返し性 ±0.2% FS
応答速度 2秒以内 (フルスケール设定値の±2%到达までの时间)
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使用温度范囲 0-50℃(15-35℃:精度保证)、结露なきこと
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接ガス材质 SUS316、バイトン 他 (SUS316L対応可)
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寸法 面间寸法174mm 高さ128mm(コネクター除く) 流量により异なります
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