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产品详情
简单介绍:
通过提供具有数十毫秒级良好沉积效率
的脉冲,减少了原材料的损耗,提高了沉积效率。
详情介绍:
概述
AL-1通过交替向反应室提供有机金属原料和氧化剂,仅利用表面反应进行成膜,实现了高薄膜厚度控制和良好的阶梯涂层性能。 薄膜厚度可按原子层顺序控制。 此外,高纵横比的孔内壁具有良好的覆盖性,可以均匀地沉积在薄膜厚度上。 在有机金属材料中使用TMA和使用H_O作为反应剂的氧化铝(AlOx)膜,在350°C的沉积温度下具有7.5MV/cm的高击穿强度,可作为下一代功率器件的栅极高压膜应用。 • 4 英寸晶圆 × 可同时形成三个晶圆。
特点
通过提供具有数十毫秒级良好沉积效率
的脉冲,减少了原材料的损耗,提高了沉积效率。
与清洁真空
反应室内壁紧密接触的内壁加热器可抑制反应室内的温度不均匀性,从而获得清洁的真空。
无针孔的成膜
设计使多个原料气体不混合在反应室内,从而防止颗粒的产生,形成无针孔的膜。
应用示例
下一代功率器件的栅极氧化膜和钝化膜
在三维结构(如 MEMS)上均匀沉积
激光谐振器端面的沉积
碳纳米管保护膜
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