热门搜索：
代理线上365bet注册_36524总部电话_365数字含义
品牌：OTSUKA大塚电子（薄膜测厚仪、相位差膜设备等）、USHIO牛尾、TOKISANGYO东机产业、CCS（视检查光源）、Aitec艾泰克、REVOX莱宝克斯、EYE岩崎、SONIC索尼克（风速计、流量计等）、SAKAGUCHI坂口电热、NEWKON新光、fujiterminal富士端子、NS精密科学、leimac雷马克、NFLIDGE英富丽、USHIO牛尾、OPTEX FA奥泰斯、SAKURAI樱井、TOE东京光电子、SOMA相马光学、ARROWIN京立电机、shibuya涉谷光学、yamashitadenso山下电装、u-technology、kenko-tokina等
产品中心
-
TML东京测器
-
SOMA相马
-
FURUKAWA古川
-
NAVITAR纳维塔
-
ITOH伊藤制造
-
TONCON拓丰
-
NPM日脉
-
SHINKO新光电子
-
u-technology
-
OPTEX奥泰斯
-
yamari山里三洋
-
SAGADEN嵯峨电机
-
SAMCO
- Cho-Onpa超音波工...
-
inflidge英富丽
-
leimac雷马克
-
TSUBAKI NAKA...
-
加热器
- LUCEO鲁机欧
-
打印机
- MACOME码控美
- Iijima饭岛电子
- FUJICON富士
- SAKURAI樱井
- marktec码科泰克
- imao今尾
- chuhatsu中央发明...
- KEM京都电子
- EYE岩崎UV灯
- YUASA尤阿萨
- TSUBOSAKA壶坂
- CCS
- KYOWA共和
- 东机产业代理
- UNILAM优尼光
-
大冢电子
- POLARI0N普拉瑞
-
壶坂电机株式会社
- NEWKON新光
-
山里YAMARI
- AITEC艾泰克
- 线上365bet注册_36524总部电话_365数字含义 大流量计ACE
- NS精密科学
- 品川测器
- YUASA优阿萨
- 艾美克emic
- REVOX莱宝克斯光源
- 吉高jikco
- Otsuka大塚
- custom
- 线上365bet注册_36524总部电话_365数字含义 富士端子
- 小野
- SANKO线上365bet注册_36524总部电话_365数字含义 山高
- revox
- Marktec码科泰克。
- 线上365bet注册_36524总部电话_365数字含义 泷川takikawa
- OPK欧琵凯
- ASKER
- RKC
- NIRECO
- NPM
- Technart太科
- 岩田
- hozan
- MORITEX
- 尼康
- hakko八光电机
- 乐彩
- ishida石田精密
- 福太郎
- 小板研究所
- 三丰mitutoyo
- NISSIN日进电子
-
静雄传感器
- SND日新
- TEITSU帝通
- ACTUNI阿库图
- navitar
- supertool超级工...
- IDULE
- YAMABISHI山菱
- KANETEC强力
- 伊藤ITON
- kotohira琴平工业
- THOMAS托马斯
- MCRL线上365bet注册_36524总部电话_365数字含义 村上色彩
- NPM步进电机
- SEN日森特殊光源
- DNK科研
- REVOX莱宝克斯
- YAMATO雅玛拓
- SANKO山高
- OMRON欧姆龙
- OTSUKA大冢电子
- COSMOS线上365bet注册_36524总部电话_365数字含义 新宇宙
- 饭岛PH计
- SERIC索莱克
- NIKKATO日陶
- HOYA豪雅
- yuasa
- NDK 线上365bet注册_36524总部电话_365数字含义 电色
- SUGAWARA营原
- ORC欧阿希
- TANDD
- ITOH伊藤
- SAKAGUCHI坂口电...
- 拓普康
- TOADKK东亚电波
- TAKASAGO高砂
- Excel听音机
- SEN日森
- EYELA东京理化
- PISCO匹斯克
- EYE岩崎
- 三高
- USHIO牛尾
- AND爱安德
- 诺信
- DRY-CABI德瑞卡比
- EIWA荣和
- HEIDON新东
- 武藏
- EMIC爱美克
- TAKIKAWA泷川
- FEI SEM电子顕微镜
- 光屋LED灯
- JIKCO吉高
- FUJITERMINAL...
- SIBATA柴田
- 东明
- TOKISANGYO东机...
- KUSANO草野科学
- TOPCON拓普康
- サンコーテクノ（株）
- ORIHARA折原
- SUMIDA住田
- CCS希希爱视
- KOHWA光和
- HAYASHI林时计
- SOTEC索泰科
- HIKARIYA光屋
- TAMASAKI
- KOKUSAN科库森
- DSK电通产业
- HAYASHI 林时计
产品详情
简单介绍：
高密度等离子蚀刻装置，采用电感耦合等离子体（工业塑料广场）作为放电形式。 该装置具有两个反应室，提高了区域生产率，是一种具有出色工艺再现性和稳定性的正宗生产设备。
详情介绍：
概述
高密度等离子蚀刻装置，采用电感耦合等离子体（工业塑料广场）作为放电形式。 该装置具有两个反应室，提高了区域生产率，是一种具有出色工艺再现性和稳定性的正宗生产设备。
特点
新型ICP源「HSTC™： Hyper Symmetrical Tornado Coil」
高射频功率（2 kW 或更高）可高效、稳定地应用，以实现良好的均匀性。
大流量排气系统
通过采用与反应室直接相连的排气系统，实现了从小流量、低压区域到大流量、高压范围的各种工艺窗口。
下部电极升降机构
优化晶圆和等离子体之间的距离，确保良好的平面内均匀性。
易于维护的设计
TMP（涡轮分子泵）和高频电源单元化，便于更换。
应用示例
• 高精度加工化合物半导体，如 GaN、GaAs 和 InP
・高速加工SiC、SiO
• 蚀刻难蚀刻材料，如铁电体（PZT、BST、SBT、BT）和电极材料（Pt、Au、Ru、Al）
化合物半导体晶圆的等离子切割，薄型化
选项
难蚀刻材料用特殊电极机构
产品留言
