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        产品详情
        • 产品名称:SAMCO氯系气体对应的负载锁定式RIE装置RIE-200NL

        • 产品厂商:SAMCO
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        简单介绍:
        RIE-200NL 是一种负载锁定设备,基于 RIE-10NR 的经验,该设备具有丰富的平行平板 RIE 设备交付记录。
        详情介绍:

        概述

        RIE-200NL 是一种负载锁定设备,基于 RIE-10NR 的经验,该设备具有丰富的平行平板 RIE 设备交付记录。 该器件可高精度蚀刻各种硅薄膜(如 Si 和 Poly-Si)以及化合物半导体(如 GaN 和 GaAs)。 虽然价格低廉,但 PLC 控制可存储所有自动操作和过程参数,具有卓 越的高性能性价比。

        特点

        配备路锁室

        氯气工艺是可能的。 此外,还实现了良好的工艺可重复性。

        • 8“ 晶圆加工

        虽然是紧凑设计的节省空间的设备,但可以加工高达 ±8“ 晶圆。

        全自动驾驶

        操作通过触摸屏实现全自动运行 ,通过PLC控制可进行过程管理和数据记录。

        应用示例

        • 各种硅薄膜的高精度蚀刻,如 Si、Poly-Si、SiO+ 和 SiN

        蚀刻化合物半导体,如GaN、GaAs和InP

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